探針臺設(shè)備使用方法￤

以手動探針臺為例?探針臺的使用方法如下￤

1、將樣品載入真空卡盤?打開真空閥控制開關(guān)?使樣品安全牢固地吸附在卡盤上；

2、使用卡盤X軸/Y軸控制旋鈕移動卡盤平臺?在顯微鏡低倍物鏡的焦點下清楚地看到樣品；

3、使用卡盤X軸/Y軸控制旋鈕移動卡盤平臺?將樣品放置測試點移至顯微鏡下；

4.顯微鏡切換為高倍率物鏡?在高倍率下找到待測點?然后微調(diào)顯微鏡聚焦和樣品x-y?將圖像調(diào)整清晰?等待測點位于顯微鏡視場中心；

5.確認測點位置后?調(diào)整探針座位置?安裝探針后?可以將探針移到接近待測點的位置?然后使用探針座X-Y-Z的三個微調(diào)旋鈕慢慢地將探針移動到被測點。這時候要小心?慢慢移動?防止芯片誤傷?當探針針的尖端懸掛在被測點上方時?探針可以先用Y軸旋鈕稍微后退一點?然后用Z軸旋鈕下針?最后用X軸旋鈕左右滑動?觀察是否有一點劃痕?證明是否接觸過；

6、確保針尖與被測點接觸良好后?可通過連接測試設(shè)備開始測試?