真空探針臺設(shè)備組成￤
探針臺￤設(shè)備主體；
控制器￤PID溫度控制器；
真空維持系統(tǒng)￤真空泵；
液氮罐￤降溫系統(tǒng)；
電腦主機￤測試監(jiān)控；
探針臺組成
探針臺 ? 百科
探針臺為小尺寸樣品測量電特性?PID自整定連續(xù)多點控溫?提供高精度可控的測量環(huán)境?幫助精準(zhǔn)測量和分析判斷晶圓器件的性能?
探針臺設(shè)備通過定制樣品臺和測量方式?可以實現(xiàn)￤
基礎(chǔ)測試；
保護氣氛電路測試；
高低溫真空探針臺；
超高頻探針臺；
光電流分析；
FA失效分析等測量和分析平臺?