探針冷熱臺中真空壓力控制系統(tǒng)由進(jìn)氣電動(dòng)針閥?高真空計(jì)?低真空計(jì)?排氣電動(dòng)針閥?高真空壓力控制器?低真空壓力控制器和真空泵組成?

該系統(tǒng)通過兩個(gè)高低真空壓力控制回路對全量程真空壓力進(jìn)行精密控制?分別采用上游和下游控制模式。在全量程真空壓力的具體控制過程中?需要分別采用上游和下游控制模式?具體如下：

- 對于絕對壓力0.1Torr~10Torr的高真空壓力范圍的控制?首先要設(shè)置排氣電控針閥的開度為某一固定值?通過運(yùn)行高真空度控制回路自動(dòng)調(diào)節(jié)進(jìn)氣針閥開度來達(dá)到真空壓力設(shè)定值?

- 對于絕對壓力10Torr~1000Torr的低真空壓力范圍的控制?首先要設(shè)置進(jìn)氣針閥的開度為某一固定值?通過運(yùn)行低真空度控制回路自動(dòng)調(diào)節(jié)排氣針閥開度來達(dá)到真空壓力設(shè)定值?

- 全量程范圍內(nèi)的真空壓力變化可按照設(shè)定曲線進(jìn)行程序控制?控制采用真空壓力控制器自帶的計(jì)算機(jī)軟件進(jìn)行操作?同時(shí)顯示和存儲過程參數(shù)和隨時(shí)間變化曲線?

探針冷熱臺內(nèi)的真空壓力控制精度主要由真空計(jì)?電控針閥和真空壓力控制器的精度決定。除了使用精度為±0.25%的薄膜電容真空計(jì)之外?還采用了NCNV系列電控針閥具有全量程±0.1%的重復(fù)精度?以及VPC2021系列真空壓力控制器具有24位AD?16位DA和0.01%最小輸出百分比?

通過如此精度的配置?全量程的真空壓力控制可以達(dá)到很高的精度?考核試驗(yàn)證明可以輕松達(dá)到±1%的控制精度?采用分段PID參數(shù)?控制精度可以達(dá)到±0.5%?

對于探針冷熱臺內(nèi)的氣氛控制?采用了多個(gè)氣體質(zhì)量流量控制器來對進(jìn)氣進(jìn)行精密的流量調(diào)節(jié)?以精確控制各種氣體的濃度或所占比例。通過精密測量后的多種工作氣體在混氣罐內(nèi)進(jìn)行混合?然后再進(jìn)入探針冷熱臺?由此可以準(zhǔn)確控制各種氣體比值?

在氣氛控制過程中需要注意以下兩點(diǎn)：

(1)對于某一種單獨(dú)的工作氣體需要配備相應(yīng)氣體的氣體質(zhì)量流量控制器；

(2)混氣罐壓力要進(jìn)行恒定控制或在混氣罐出口處增加一個(gè)減壓閥以保持混氣罐出口壓力穩(wěn)定?