為了實現(xiàn)冷熱臺的真空?氣氛的準(zhǔn)確控制?提出了相應(yīng)的解決方案?

針對這個問題?本解決方案采用以下兩種獨立的技術(shù)實現(xiàn)真空壓力和氣氛的精確控制￤

(1)真空壓力控制￤采用動態(tài)平衡法技術(shù)?通過控制進(jìn)入和排出測試腔體的氣體流量?使進(jìn)氣和排氣流量達(dá)到動態(tài)平衡從而實現(xiàn)寬域范圍內(nèi)任意設(shè)定真空壓力的準(zhǔn)確恒定控制?

(2)氣氛控制￤采用氣體質(zhì)量流量控制技術(shù)?分別控制多種工作氣體的流量?由此來實現(xiàn)環(huán)境氣體中的混合比?

本解決方案能夠有效地解決顯微鏡探針冷熱臺的真空壓力控制問題?具備高度的控制精度和自動化能力。此外?該方案還具有以下特點￤

(1)本解決方案具有很強(qiáng)的適用性和擴(kuò)展性?只需調(diào)整相關(guān)部件參數(shù)即可適應(yīng)不同范圍的真空壓力需求。此外?通過在進(jìn)氣口增加微小流量可變泄漏閥?還可以實現(xiàn)各級超高真空度的精密控制?

(2)本解決方案所采用的控制器還可應(yīng)用于冷熱臺的溫度控制?例如帕爾貼式TEC半導(dǎo)體加熱制冷裝置的溫度控制?液氮溫度的低溫控制等?

(3)解決方案中的控制器內(nèi)置計算機(jī)軟件?可直接通過計算機(jī)屏幕操作進(jìn)行整個控制系統(tǒng)的調(diào)試和運行?？刂七^程中的各種過程參數(shù)變化曲線會自動存儲?可快速搭建起控制系統(tǒng)?極大地方便了微觀分析和測試研究?

然而?在目前的冷熱臺環(huán)境控制方面?仍然存在微小空間內(nèi)濕度環(huán)境高精度控制的難題?這將是未來研究和開發(fā)的方向之一?