探針臺(tái)是什么
探針臺(tái)(Probe Station)是一種用于對(duì)半導(dǎo)體器件進(jìn)行電性能測(cè)試的設(shè)備,用于半導(dǎo)體器件、集成電路和其他微電子元件,被廣泛應(yīng)用于研發(fā)、質(zhì)量控制和生產(chǎn)測(cè)試中。
探針臺(tái)的定義
探針臺(tái)是一種用于半導(dǎo)體器件電性能測(cè)試的關(guān)鍵設(shè)備,它通過(guò)精密的機(jī)械結(jié)構(gòu)、高性能的探針針頭和電性能測(cè)試儀器,對(duì)半導(dǎo)體芯片、集成電路和其他微電子器件進(jìn)行直接的電性能測(cè)試。
探針臺(tái)具備高精度、高靈敏度以及環(huán)境適應(yīng)性強(qiáng)的特點(diǎn),能夠支持集成光學(xué)測(cè)試、電磁測(cè)試等多種測(cè)試手段,為半導(dǎo)體器件的全面性能評(píng)估提供有力支持。